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閥門分配箱（VMB）通常用于輸送特殊氣體。在半導(dǎo)體、光伏太陽能、 IC芯片的生產(chǎn)領(lǐng)域中，VMB廣泛用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等應(yīng)用中。近年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著中國VLSI、平板顯示器、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)電子燃?xì)馐袌龅男枨竺黠@增加，電子特種氣體的本地化已成為趨勢(shì)時(shí)代。

據(jù)了解，中國在本地化方面取得了可喜的進(jìn)展：國內(nèi)高純度氨氣改變了外國天然氣公司的壟斷市場，高純度四氟化碳“寶貴而無貨”的時(shí)代也結(jié)束了。高純度氯化氫已在中國成功開放。市場。因此，閥門分配系統(tǒng)的應(yīng)用將越來越廣泛。

特殊氣體VMB應(yīng)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣管隔離閥和壓力指示裝置；氣路應(yīng)配備一個(gè)獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器、過流開關(guān)；氣體分支應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥；管道上應(yīng)配備單獨(dú)的吹掃氣設(shè)備、輔助真空設(shè)備等。

對(duì)于惰性氣體，應(yīng)提供進(jìn)氣管路隔離閥和壓力指示裝置；氣路應(yīng)配備獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；氣體分歧應(yīng)配備獨(dú)立的出口隔離閥。

電子氣體，特別是危險(xiǎn)的特殊氣體，是集成電路、光電、微電子學(xué)，尤其是VLSI、液晶顯示設(shè)備、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料，這種材料被稱為電子工業(yè)的“血液”和“食品”，其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質(zhì)量。、微電子元件的質(zhì)量、集成度、的具體技術(shù)指標(biāo)和良率，從根本上限制了電路和器件的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。 VMB的引入是一對(duì)多，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)分支的核心單元。不僅保證了多點(diǎn)用氣，而且確保了用氣的安全。

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